反射分光式膜厚計

ハードコーティングやARなど光が透過する膜の厚さ測定には、反射分光式膜厚計をお勧めです。

レンタルあり

反射分光式膜厚計写真

【仕組み】

サンプルに光を照射すると膜厚に依存した特有のスペクトルを示します。膜表面で反射した光と膜内を通過し基板表面で反射した光が、互いに干渉を起こします。光の位相が一致すると強度が強まり、ずれると弱まります。反射分光法は、このスペクトルを解析することにより膜厚を測定する方法です。

 

【メリット】

・SEMや触針式段差計と異なり、非接触で測定が可能。

・エリプソメーターに比べ、安価で使いやすい。

 

将来的に量産装置に取り付けることも可能です。


装置仕様

型式 AFW-100W
用途 一般膜厚用
装置構成 ユニット本体、測定スタンド、2分岐ファイバー(1.5m)、PC
測定波長範囲 380~1050nm
膜厚測定範囲 100nm~1μm(カーブフィッティング法)
1μm~60μm(FFT)
計測再現性 0.2%~1%(膜質依存による)
測定スポット径 約7mm
光源 12V-50W ハロゲン
測定理論 カーブフィッティング法 / FFT法
外形寸法 (mm) 測定スタンド:W150×D150×H115
本体    :W230×D230×H135
概算重量 5.5kg  ※PCを除く
ユーティリティ AC100V 50/60Hz
消耗品 ハロゲンランプ
定価 ¥3,200,000-

測定事例

SiO2膜やITO膜、AR膜など光を透過する膜の厚さ測定や透過率の解析に最適です。非接触のため、作業効率が良く複数枚の測定も短時間で行うことができます。

薄膜写真

測定ワークサイズ

膜厚計ステージ説明画像

センサー直下からの最大奥行きサイズ(黄色矢印):126mm

8インチウエハーまで測定可能です。


顕微鏡式分光膜厚計

顕微鏡を用いる事で、従来では測定出来なかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。

顕微分光説明イラスト
名称 顕微鏡式分光膜厚計
装置構成 顕微鏡、ユニット本体、ファイバー(1m)、PC
顕微鏡 オリンパス社製金属顕微鏡
測定波長範囲 380~900nm
膜厚測定範囲 50nm~1.5μm(C/F)
1.5μm~50μm(FFT)
計測再現性 0.2%~1%(膜質依存による)
測定スポット径 Φ6μm~Φ120μm
光源 12V-100W ハロゲン
測定理論 カーブフィッティング法 / FFT法
外形寸法 (mm) 顕微鏡:W317.5×D602×H480
本体:W230×D230×H135
概算重量 25kg ※PCを除く
ユーティリティ AC100V 50/60Hz
消耗品 ハロゲンランプ