反射分光式膜厚計 測定事例

測定事例:SiO2膜

シリコン酸化膜は、絶縁材料として利用できるため、表面保護膜やゲート絶縁膜など様々用途に利用されております。

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:380nm~1,000nm

:SiO2

基板

:Si

膜種 想定膜厚 実測値
 SiO2 100nm 94.500nm
500nm 820.000nm
1,000nm 1001.091nm

SiO2膜の反射スペクトル

SiO2膜スペクトル100nm
100nm
SiO2 スペクトル膜厚500nm
500nm
SiO2スペクトル膜厚1000nm
1000nm

測定事例:ITO膜(スズドープ酸化インジウム:Indium Tin Oxide)

酸化インジウムスズITOは、酸化インジウムと酸化スズの無機混合物です。ガラス基板にスパッタ等で成膜することにより、フラットパネルディスプレイやタッチパネルなど透明導電膜として、さまざまな所で利用されています。

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:400nm~700nm

:ITO

基板

:ガラス

膜種 想定膜厚 実測値
 ITO 80nm 83.600nm

 

ITOガラス基板写真

ITO膜の反射スペクトル
ITO膜の反射スペクトル
ITOの屈折率と消衰係数
ITOの屈折率と消衰係数

測定事例:AR膜(Anti-Reflection)

ARコート膜は、一般的に数百ナノメートルの膜厚でコーテイングされます。CF法を用いて測定し、また波長毎の反射率(ボトム波長)も調べる事が可能です。

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:400nm~700nm

:AR

基板

:アクリル

膜種 想定膜厚 実測値 屈折率
 AR

120nm

120.100nm 1.3

AR膜の反射スペクトル
AR膜の反射スペクトル
ARコーティング画像

測定事例:ハードコーティング膜

ハードコート膜では、一般的に数ミクロン~数十ミクロンの膜厚でコーテイングされます。FFTでの測定で瞬時に測定が可能です。

また、レンズ等の湾曲したワークへの膜厚測定では、顕微鏡を用いる事でより正確な測定が可能になります。微小エリアを計測し散乱光を抑え測定しております。

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:400nm~1000nm

:HC

基板

:アクリル

膜種 想定膜厚 実測値
 HC 12μm 11.951μm

HC膜の反射スペクトル
HC膜の反射スペクトル
ハードコーティングレンズ画像

測定事例:ポリエチレン フィルム

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:400nm~1000nm

測定対象

PE ポリエチレン フィルム

膜種 想定膜厚 実測値 屈折率
 PE

10μm

10.820μm 1.53

PEフィルムの反射スペクトル
PEフィルムの反射スペクトル
ポリエチレンフィルム写真

測定事例:レジスト膜

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:400nm~1000nm

測定対象

レジスト

 基板 :Si
膜種 想定膜厚 実測値 屈折率
 レジスト 120nm 120.100nm 1.3

レジスト膜の反射スペクトル
レジスト膜の反射スペクトル

測定事例:PI(ポリイミド)

ポリイミドは、半導体回路の保護膜として広く利用されております。シリコンウエハ上のポリイミド膜だけでなく、カプトンテープなどのフィルムに対しても測定は可能です。

 

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:600nm~700nm

測定対象

PI

 基板 :Si
膜種 想定膜厚 実測値 屈折率
 PI 45μm 45.655μm 1.8
ポリイミド画像

PI膜の反射スペクトル
PI膜の反射スペクトル
PI膜の透過率
PI膜の透過率

測定事例:レジスト(スピンコート)

半導体用フォトレジストは、シリコンウエハ等の表面に薄膜塗付し、フォトマスクを置いて紫外線照射することにより、感光させます。主にCI回路やプリント基板等に使用されます。

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:400nm~1000nm

レジスト液

:富士薬品工業㈱FPPR-200

 膜 :レジスト
 基板 :Si
膜種 回転数 実測値 屈折率
 レジスト  2,500rpm 779.800nm 1.6
5,000rpm 558.600nm

レジスト膜の反射率スペクトル 2,500rpm
レジスト膜の反射率スペクトル 2,500rpm
レジスト膜の反射率スペクトル 5,000rpm
レジスト膜の反射率スペクトル 5,000rpm
スピンコーターの回転数と膜厚の関係
スピンコーターの回転数と膜厚の関係

ポリウレタンフィルム PU

ポリウレタンフィルムは、ラップをはじめ、さまざまなフィルム用途として利用されております。反射分光式膜厚計は、膜厚だけでなく、フィルム厚自身も測定が可能です。

測定機種 :AFW-100W
測定波長

:650nm~1000nm

 膜 :ポリウレタン
膜種 想定膜厚 実測値 屈折率
 PU 50μm 47.913μm 1.5

PUフィルムの反射スペクトル_1
PUフィルムの反射スペクトル_2