接触角・表面張力計
表面改質後の濡れ性の評価は、一般に接触角計が用いられます。また接触角だけでなく固体の表面自体が持つエネルギー（表面自由エネルギー）の分析を通じて、接着力・密着力を分析するに当たり欠かせない装置です。
反射分光式膜厚計
膜厚測定対象にハロゲン光を照射することにより発生する光の干渉のスペクトルを解析することにより膜厚を測定する方法です。
SEMや触針式段差計と異なり非接触で測定が可能で、エリプソメーターに比べ、安価で使いやすい装置です。ハードコーティングの膜厚測定などに最適です。
