FAQ

膜厚測定について

測定が可能なサンプルはどんなものですか？

光源からファイバーを通して照射した光が、測定対象物の表面で反射することで得られる反射光を解析するため、一定の反射光を得られるものが測定対象となります。 一般的な光沢のある金属、樹脂、ガラス、シリコンウェハ、フィルムなどは測定可能です。一方、黒色基板やヘアライン加工された金属板など、光が吸収または散乱して十分な反射光を受光できないものは、測定が難しい場合があります。

どんな膜でも測定はできるのでしょうか？

膜表面で反射した光と、膜を透過して基板表面で反射した光によって生じる干渉強度スペクトルを解析するため、測定対象となる膜には、光が透過できる程度の透明性が必要です。
着色された膜でも、下地の基板が透けて見える程度の透明性があれば、測定できる可能性があります。一方、光を通さない金属膜や、光を強く散乱する白色材料などは、十分な反射光を得られず、測定が難しい場合があります。

測定できる材料、測定できない材料について教えてください。

光を透過する材料は、基本的に測定対象となります。樹脂、フィルム、鏡面反射するシリコンウェハなどは測定可能です。
ただし、表面状態や反射率、膜厚、基板との組み合わせによっては、測定が難しい場合があります。また、光を通さない金属膜や、光を強く散乱する白色材料、ヘアライン加工された金属板などは、十分な反射光を得られず、測定が難しい場合があります。

膜厚測定のために必要な情報は？

膜および基板の光学定数に関する情報が必要です。具体的には、屈折率（n）や、必要に応じて消衰係数（k）を使用します。 屈折率は波長によって変化するため、複数の波長における屈折率が分かっていると、膜厚測定の精度向上につながります。 膜や基板に色や不透明性がある場合は、吸収係数（k）の情報も準備していただくことをおすすめします。

多層膜の測定はできますか？

多層膜の測定にも対応しています。ただし、膜の層数、各層の膜厚、屈折率、膜厚差などによっては、解析が難しい場合があります。膜厚や各層の光学特性にもよりますが、最大3層まで測定可能です。測定対象の構成や材質を確認したうえで、測定可否をご案内しますので、事前にサンプル情報をお知らせください。

レンタルについて

セッティングは面倒ではないでしょうか？

分析ソフトをインストール済みのパソコンも同梱しています。 USBケーブルと電源ケーブルを接続するだけで、約5分ほどでセッティングできます。

見積書が欲しいのですが？

書面でのお見積書をご希望の場合は、お電話または お問い合わせページ よりおお申込みください。

返却は簡単ですか？

専用ケースに入れていただくだけですので、簡単に返却できます。

レンタル期間の延長は可能ですか？

対象装置の予約状況を確認したうえで対応します。 お早めに当社営業技術部へご相談ください。

自社の支払いサイトに合わせていただけますか？

はい、対応可能です。お気軽にご相談ください。

自社とは違う場所で装置を使用したいのですが？

対応可能です。 装置を受け取るご担当者様のお名前、送付先住所などをお知らせください。

海外で装置を使用したいのですが？

海外での使用も可能ですが、装置の受け渡しは国内となります。 国外への持ち出しに必要な書類についてもご用意します。

製品の使い方で分からないところがあるのですが？

すべての製品に取扱説明書を同封しています。 ご不明点がある場合は、当社営業技術部までお問い合わせください。 出張による設置説明サービスにも対応しています。

送料はいくらですか？

装置を当社から発送する際の送料は当社が負担します。レンタル終了後、当社へ返送いただく際の送料はお客様にご負担いただきます。

レンタルの際に必要なユーティリティは？

膜厚計本体と解析用パソコン用に、100Vコンセントを2口ご用意ください。

受託測定をお願いすることはできますか？

測定対象のワークを当社まで送付していただければ、受託測定サービスに対応します。 測定する時間がない、装置を使いこなせるか不安といった場合にご利用いただけます。

装置の見学は可能ですか？

はい、当社ラボへお越しいただければ見学可能です。

装置の購入は可能ですか？

はい、販売にも対応しています。 詳細は当社営業技術部までお問い合わせください。