膜厚測定について

測定が可能なサンプルはどんなものですか？

光源からの光をファイバーから発してワーク表面で反射した光を解析しますので、反射するものが対象となります。 一般的な光沢のある金属、樹脂、ガラス、シリコンウェハ、フィルムなどは測定可能です。 一方、黒色基板やヘアライン加工された金属板など、光が散乱して反射光を十分に受光できないものは測定が困難です。

どんな膜でも測定はできるのでしょうか？

膜表面で反射した光と、膜内を通過して基板表面で反射した光の干渉強度スペクトルを解析するため、光が膜を透過できる程度の透明性が必要です。 色のある膜でも、下地のワークが透けて見える場合は測定できる可能性があります。 光を通さない金属膜や白色材料は、光が散乱するため測定が困難です。

測定できる材料、測定できない材料について教えてください。

光を通す材料は基本的に測定可能です。 樹脂、フィルム、鏡面反射するシリコンウェハなどは測定できます。 光を通さない金属膜、白色材料、ヘアライン加工された金属板などは、光が散乱するため測定が困難です。

膜厚測定のために必要な情報は？

膜と基板の屈折率（n・k）の情報が必要です。 屈折率は波長によって変化するため、複数の波長における屈折率が分かっていると、膜厚測定の精度向上につながります。 膜や基板に色や不透明性がある場合は、吸収係数（k）の情報も準備していただくことをおすすめします。

多層膜の測定はできますか？

回答準備中です。

レンタルについて

セッティングは面倒ではないでしょうか？

分析ソフトをインストール済みのパソコンも同梱しています。 USBケーブルと電源ケーブルを接続するだけで、約5分ほどでセッティングできます。

見積書が欲しいのですが？

書面でのお見積書をご希望の場合は、お電話または お問い合わせページ よりお申し込みください。

返却は簡単ですか？

専用ケースに入れていただくだけですので、簡単に返却できます。

レンタル期間の延長は可能ですか？

対象装置の予約状況を確認したうえで対応します。 お早めに弊社営業技術部へご相談ください。

自社の支払いサイトに合わせていただけますか？

はい、対応可能です。お気軽にご相談ください。

自社とは違う場所で装置を使用したいのですが？

対応可能です。 装置を受け取るご担当者様のお名前、送付先住所などをお知らせください。

海外で装置を使用したいのですが？

海外での使用も可能ですが、装置の受け渡しは国内となります。 国外への持ち出しに必要な書類についてもご用意します。

製品の使い方で分からないところがあるのですが？

すべての製品に取扱説明書を同封しています。 ご不明点がある場合は、弊社営業技術部までお問い合わせください。 出張による設置説明サービスにも対応しています。

送料はいくらですか？

弊社へ返送する際の送料をご負担ください。

レンタルの際に必要なユーティリティは？

膜厚計本体と解析用パソコン用に、100Vコンセントを2口ご用意ください。

受託測定をお願いすることはできますか？

測定対象のワークを弊社まで送付していただければ、受託測定サービスに対応します。 測定する時間がない、装置を使いこなせるか不安といった場合にご利用いただけます。

装置の見学は可能ですか？

はい、弊社ラボへお越しいただければ見学可能です。

装置の購入は可能ですか？

はい、販売にも対応しています。 詳細は弊社営業技術部までお問い合わせください。