用語集 | 反射分光式膜厚計ならあすみ技研｜販売、レンタル、受託対応します。

CF（カーブフィッティング、Curve Fitting）

測定された反射率と理論値の反射率の差の二乗が最も小さくなる膜厚値を求めます。波形が3個以下(膜厚1 μm程度)の時の使用を推奨。

ある波長幅に膜厚を示す干渉波形が何個あるかをFFT計算により求め、これから1周期の波長幅が導かれる。波形が3個以上（膜厚1 μm程度）の時の使用を推奨。

ガラスや樹脂、フィルム等の透過率を連続スペクトルで

測定することが可能です。

ハロゲン光をサンプルに照射してサンプルから透過した

光を検出器で受光、分光器で測定する方法です。

380nm～1,050 nmの連続波長で透過率を測定できます。

合わせて、色度(380nm～780nm)も測定可能です。

内壁は球面になっており、内壁は硫酸バリウムなどの反射率の高いコーティングがされています。外部から取り込んだ光は積分球内で拡散反射を繰り返し光を均一化し、取り出す事ができます。

積分球有：散乱した光も積分球で取り込んで測定します。

積分球無：検出器で受けた光のみ測定します。

光がどれだけ透過・反射しないかの度合いを対数で表したもの。数値が大きいほど濃い(透過率が低い)ことを表します。

開口数（NA）は光ファイバーに入射された光がコア内で全反射して伝搬できる最大の入射角を表します。 nは屈折率で、一般的に大気中ではn＝1となります。

当社ではNA＝0.13の光ファイバーを使用しています。

D＝20mm、f＝80mmのため、NA＝20÷（2×80）＝0.125

膜厚測定に関する用語や装置の仕様について、ご不明な点はお気軽にご相談ください。