AFW-100Wは、反射分光方式により、薄膜やフィルムの厚さを非接触で測定できる汎用型の膜厚計です。100 nmから60 μmまでの幅広い膜厚に対応し、シリコンウェハ上の酸化膜、レジスト膜、ハードコート膜、樹脂フィルムなど、さまざまな試料を測定できます。測定対象を傷つけることなく、短時間で膜厚を評価したい研究開発や品質管理に適しています。
| 型式 | AFW-100W |
|---|---|
| 用途 | 一般膜厚測定用 |
| 装置構成 | ユニット本体、測定スタンド、2分岐ファイバ（1.5 m）、PC、膜厚測定サンプル |
| 測定波長範囲 | 380 nm～1,050 nm |
| 膜厚測定範囲 |
100 nm～1 μm（カーブフィッティング法） 1 μm～60 μm（FFT法） |
| 計測再現性 | 0.2％～1％（膜質により異なります） |
| 測定スポット径 | 約7 mm |
| 光源 | 12 V・50 Wハロゲンランプ |
| 測定方式 | カーブフィッティング法／FFT法 |
| 外形寸法 |
測定スタンド：W150 × D150 × H115 mm ユニット本体：W230 × D230 × H135 mm |
| 概算重量 | 約5.5 kg ※PCを除く |
| 電源 | AC 100 V・50／60 Hz |
| 消耗品 | ハロゲンランプ |
| 標準価格 | 3,300,000円 （税別） |
膜厚の解析方法
C/F（カーブフィッティング、Curve Fitting）
測定した反射率と理論上の反射率を比較し、両者の差が最も小さくなる膜厚値を算出します。
干渉波形が3周期以下となる薄膜、主に膜厚1 μm程度以下の測定に適しています。
FFT（高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform）
測定した干渉スペクトルを高速フーリエ変換によって解析し、干渉波形の周期から膜厚を算出します。
干渉波形が3周期以上現れる膜、主に膜厚1 μm程度以上の測定に適しています。
測定スタンドのセンサ直下からの最大奥行きサイズは黄色矢印部分で126mmありますので、8インチウェハまで測定可能です。測定スタンド図面は下記リンクからダウンロードできますのでぜひご活用ください。
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