| 型式 | AFW-100BX |
|---|---|
| 用途 | 一般膜厚測定用 |
| 装置構成 | ユニット本体、測定スタンド、顕微鏡ファイバ（1 m）、PC、膜厚測定サンプル、顕微鏡 |
| 測定波長範囲 | 380 nm～900 nm |
| 膜厚測定範囲 |
50 nm～1.5 μm（カーブフィッティング法） 1.5 μm～50 μm（FFT法） |
| 計測再現性 | 0.2％～1％（膜質により異なります） |
| 測定スポット径 | 80 μm（5倍）、40 μm（10倍）、20 μm（20倍）、8 μm（50倍） |
| 光源 | 12 V・100 Wハロゲンランプ |
| 測定方式 | カーブフィッティング法／FFT法 |
| 外形寸法 |
顕微鏡：W317.5 × D602 × H480 mm ユニット本体：W230 × D230 × H135 mm |
| 概算重量 | 約25 kg ※PCを除く |
| 電源 | AC 100 V・50／60 Hz |
| 消耗品 | ハロゲンランプ |
| 標準価格 | 4,717,000円 （税別） |
顕微鏡を用いる事で、従来では測定出来なかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。
微小エリアを計測し散乱光を抑え測定を可能にします。
微小エリアを計測し散乱光を抑え測定を可能にします。
膜厚の解析方法
C/F（カーブフィッティング、Curve Fitting）
測定した反射率と理論上の反射率を比較し、両者の差が最も小さくなる膜厚値を算出します。
干渉波形が3周期以下となる薄膜、主に膜厚1 μm程度以下の測定に適しています。
FFT（高速フーリエ変換、Fast Fourier Transform）
測定した干渉スペクトルを高速フーリエ変換によって解析し、干渉波形の周期から膜厚を算出します。
干渉波形が3周期以上現れる膜、主に膜厚1 μm程度以上の測定に適しています。
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