製品紹介

あすみ技研の膜厚計が使いやすい5つの理由

「ダーク、リファレンス、測定」の3ステップでどなたでも簡単に膜厚を測定することができます。日本人向けに日本人が最初から開発したソフトなので細部まで作り込み、作業者の負担を減らす工夫をしています。

従来の反射分光式膜厚計はダーク取得の際はファイバーに反射光が当たらないように注意をしなければなりませんでした。

あすみ技研の反射分光式膜厚計はシャッター機能を装置に内蔵しておりますので、何も気にせず「ダーク」のボタンを押すだけで測定に移ることができます。

あすみ技研の膜厚計は膜厚測定時に理論波形と測定波形の両方が表示されます。理論波形に対してどれくらいのずれがあるかが一目でわかるようになっています。

また測定後の膜厚値についてもその値の信頼性を色別表示するようにしています。

そのため測定の誤りにも気づきやすいソフト設計となっています。

反射分光式膜厚計の測定ステージはファイバーの高さ位置が調整できる機構がついております。

ワークの厚さに合わせてファイバーの高さ位置も調整可能なので、ワーク厚さによる測定の制限を受けにくいという特長があります。

測定のモードは1回測定、常時連続測定、時間間隔測定となります。

この時間間隔測定モードは任意の時間間隔で任意の繰返し回数での測定ができます。経時変化測定や測定誤差の取得などお客様の用途に合わせた測定が可能な装置となっています。

汎用性のあるスタンダードな機種から従来では測定できなかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対しての測定を可能にした機種まで、あすみ技研の膜厚計・透過率計は計2機種でお客様の幅広いニーズにお応えします。

コンパクトな光源一体型筐体に膜厚計に最適な分光器を搭載したスタンダードな機種です。

測定波長と測定可能な膜厚を幅広くカバーしております。

最小Φ6μmの顕微スポット測定が可能な機種。ウェハパターンや電子部品の凹凸などに対して、微小エリアの膜厚の測定が可能です。

顕微鏡のCマウントアダプタに取付けることにより、お手持ちの顕微鏡で測定をすることも可能です。

名称・型式	AFW-100W	AFW-100BX
装置構成	本体・スタンド・2分岐ファイバ（1.5 m）・ノートPC・膜厚測定サンプル	本体・スタンド・顕微鏡ファイバ（1.0 m）・ノートPC・膜厚測定サンプル、顕微鏡
測定波長範囲	380 nm～1,050 nm	400 nm～900 nm
測定膜厚範囲	100 nm～1 μm（C/F）	50 nm～1.5 μm（C/F）
測定膜厚範囲	1 μm～60 μm（FFT）	1.5 μm～50 μm（FFT）
計測再現性	0.2％～1.0％（膜質依存による）
検出素子	浜松ホトニクス製 CMOSイメージセンサ
素子数	1024 ch	1024 ch
波長幅	0.65 nm/素子	0.65 nm/素子
測定スポット径	約7 mm	φ8～80 μm
光源	50 W ハロゲンランプ	100 W ハロゲンランプ
解析理論	カーブフィッティング法（C/F）/ FFT法
外形寸法	スタンド：W150×D150×H115 mm
	本体：W230×D230×H135 mm
		顕微鏡：W317.5×D602×H408 mm
概算重量　※PC除く	5.5 kg	25 kg
ユーティリティ	AC100 V　50 / 60 Hz

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