コラム：デフォーカス依存

デフォーカス依存

当社膜厚計に使用しております反射分光式膜厚計は2分岐ファイバーを使用しているため、集光せず光は広がっています。

光ファイバーのNA（開口数）は0.22です。

膜厚測定する際に測定対象ワークとファイバーとの距離を決める必要があります。

グラフは測定対象ワークからファイバーを離していった時の膜厚変動を表すグラフです。

測定距離4 mmの時は標準偏差0.149に対して、15 mm離した時は標準偏差が0.764という結果になりました。

上記結果により測定対象ワークとファイバーはできます限り近づけて測定した方が好ましいという事が言えると思います。

ただし10 mm離しても測定差(変動値)が1 nm程度しかないため、あまりシビアに考えず簡単に測定ができますのも特長の一つと言えるかと思います。